Peralatan Teras Barisan Pengeluaran Automatik PR Cleaning untuk Pengeluar Paparan LCD
Barisan pengeluaran automatik pembersihan PR (photoresist) ialah peralatan proses basah teras dalam pembuatan paparan LCD. Ia digunakan terutamanya selepas proses fotolitografi pada substrat tatasusunan untuk membuang sisa fotoresist, sisa goresan dan mikro{1}}pencemar permukaan secara menyeluruh. Ia adalah peralatan penting untuk memastikan ketepatan litar panel dan meningkatkan hasil produk. Sangat sesuai dengan persekitaran pengeluaran yang ketat bagi bilik bersih Kelas 100, ia mencapai operasi pembersihan gelung-kepersisan tinggi, automatik dan pencemaran-bebas tertutup-yang bebas.
Menyasarkan sisa fotoresis positif dan negatif selepas proses fotolitografi, ia menggunakan-pembersihan ultrasonik berbilang peringkat + proses pembilasan limpahan air tulen untuk membuang serpihan, bahan cemar organik, zarah habuk dan kekotoran lain yang tinggal selepas goresan fotolitografi secara mendalam. Ia boleh membuang sisa mikroskopik di bawah 0.5μm secara menyeluruh, mencegah kecacatan seperti litar terbuka panel, bintik terang dan bintik Mura yang disebabkan oleh kekotoran. Digabungkan dengan sistem penapisan ketepatan 0.1μm-tinggi, ia menghalang pencemaran sekunder. Ia mencapai penyingkiran-yang menyeluruh dan bebas kerosakan, mengelakkan kesan lapisan pelekat sisa pada proses pengelasan dan salutan seterusnya, dengan kadar liputan penyingkiran sebanyak 100%.
Modul kawalan elektrostatik ESD terbina dalam-dengan ketat mengawal nilai elektrostatik dalam julat Kurang daripada atau sama dengan ±100V. Digabungkan dengan bahan anti-statik rongga dan teknologi penghantaran roda magnetik tanpa-sentuh, ia mengelakkan nyahcas elektrostatik daripada merosakkan litar ketepatan panel, di samping menghalang calar, serpihan dan penjanaan habuk daripada geseran pada substrat kaca, sekali gus memaksimumkan perlindungan integriti substrat.
Bilik ujian suhu malar suhu tinggi dan rendah
Teras peralatan barisan pengeluaran pembersihan dan pengeringan automatik untuk pengeluar skrin LCD menyepadukan mod pengeringan dwi: pemotongan pisau udara dan pengeringan udara panas bersuhu malar-. Ini dengan cepat mengeluarkan kotoran air dari permukaan substrat, mencapai pengeringan percuma-tera air dan surih-bebas. Selepas pengeringan, kandungan lembapan permukaan substrat menghampiri sifar, membolehkan pemindahan terus ke proses seterusnya tanpa pemprosesan sekunder, memastikan kesinambungan proses. Sistem kawalan PLC mendayakan operasi gelung-tertutup automatik sepenuhnya untuk memuatkan, meletakkan kedudukan, membersihkan dan memunggah. Ia menyokong-pemantauan masa sebenar dan fungsi penggera untuk pelarasan kepekatan larutan pembersihan, suhu, kelembapan dan kebersihan. Reka bentuk kebuk tertutup dan tekanan negatif kecerunan menghalang kebocoran gas kimia. Digabungkan dengan persekitaran tekanan positif bilik bersih Kelas 100, ia juga membolehkan kitar semula air ultratulen dan klasifikasi dan pemulihan cecair sisa, memenuhi kedua-dua penjimatan tenaga{12}}dan keperluan perlindungan alam sekitar.
Berbanding dengan pembersihan manual tradisional, barisan pengeluaran pembersihan PR automatik sepenuhnya mempunyai kelebihan yang tidak boleh ditukar ganti: kecekapan pembersihan meningkat lebih daripada 3 kali ganda, dan hampir 10,000 substrat kaca boleh diproses setiap syif, memendekkan kitaran proses dengan ketara; ketekalan pembersihan sangat baik, mengalih keluar mikro-sisa yang lebih kecil daripada 0.5μm secara menyeluruh, mengawal kadar kecacatan panel dalam lingkungan 0.5PPM, dengan berkesan mengelakkan kecacatan seperti bintik terang, bintik gelap dan putus litar pada skrin; peralatan menggunakan reka bentuk-penjimatan dan tenaga-air, dengan kadar pemulihan air tulen yang tinggi dan pengumpulan dan rawatan terperingkat air sisa, memenuhi keperluan pengeluaran perlindungan alam sekitar; keseluruhan mesin diperbuat daripada keluli tahan karat PVC dan SUS304 tahan karat, dengan pengedap yang kuat, pembersihan dan penyelenggaraan yang mudah, serta sesuai untuk operasi berterusan 24-jam di bilik bersih, menjadi peralatan standard untuk pengeluar skrin LCD untuk membina rangkaian produk mewah dan meningkatkan daya saing teras.
Peralatan Teras dalam Bengkel Fotolitografi Pengeluar Paparan LCD
Peralatan pendedahan ialah peralatan teras dalam bengkel fotolitografi dan kawasan proses utama dalam proses pembuatan tatasusunan LCD. Juga dikenali sebagai mesin litografi panel, ia ialah-peranti proses basah optik berketepatan tinggi. Fungsi utamanya ialah untuk memindahkan corak reka bentuk litar substrat ke substrat kaca yang disalut dengan photoresist melalui pendedahan optik, yang penting untuk pembentukan litar-mikro dalam panel. Pemindahan tepat corak litar dari photomask ke substrat kaca adalah prasyarat untuk proses etsa, salutan, dan pembersihan PR seterusnya, secara langsung menentukan kualiti skrin paparan. Peralatan menggunakan proses pendedahan tanpa-sentuh, sesuai untuk saiz besar-substrat kaca LCD nipis, mengelakkan calar substrat, kerosakan dan pencemaran.
Sorotan teknologi teras termasuk sistem penjajaran berketepatan tinggi-dengan tahap mikron-malah ketepatan tindanan peringkat sub-mikron-, memastikan sifar salah penjajaran dalam tindanan litar berbilang-dengan ralat dikawal dalam beberapa perseribu diameter rambut; penggunaan sumber cahaya pendedahan seragam dan teknologi pemfokusan dinamik untuk mencapai turun naik tenaga pendedahan<±3% on large-size substrates of several square meters, guaranteeing pattern consistency; a vacuum adsorption substrate platform to effectively suppress substrate deformation and improve exposure pass rate; and a PLC intelligent control system to achieve fully automated substrate loading, pre-alignment, exposure, and unloading, supporting online parameter monitoring, anomaly alarms, and data traceability, suitable for 24-hour continuous mass production.
Keseluruhan bengkel menggunakan sumber cahaya kuning monokromatik 589nm, menapis sepenuhnya cahaya-gelombang pendek seperti cahaya ultraungu, biru dan putih, menghalang sinaran ini daripada mencetuskan tindak balas fotokimia secara pramatang dalam photoresist, menyebabkan kecacatan maut seperti salah jajaran corak, garisan tidak lengkap, litar pintas dan litar terbuka. Sistem pencahayaan menggunakan gabungan LED kuning khusus dan penapis dua-lapisan untuk mengelakkan kebocoran cahaya sesat; pintu, tingkap dan tingkap cerapan dilengkapi dengan-bahan penapis ultraungu; telefon bimbit, kamera, lampu suluh berkuasa tinggi-dan sumber cahaya luaran lain adalah dilarang sama sekali di dalam bengkel dan-kawalan disiplin cahaya kawasan sepenuhnya dilaksanakan untuk menghapuskan risiko pendedahan pramatang photoresist daripada sumbernya.
Pengenalan kepada Bilik Bersih Kelas 100 untuk Pengeluar Paparan LCD
Dalam bidang-pembuatan LCD berketepatan tinggi, bilik bersih Kelas 100 (bilik bersih ISO Kelas 5) ialah kemudahan pengeluaran teras dan penunjuk utama kekuatan teknikal dan hasil produk pengeluar. Ia digunakan secara meluas dalam peringkat proses teras seperti tatasusunan, pemasangan sel dan pembungkusan modul oleh syarikat paparan terkemuka seperti BOE, TCL CSOT, HKC dan Tianma. Bilik bersih ini mempunyai piawaian kebersihan yang ketat, dengan tidak lebih daripada 100 zarah habuk terampai Lebih daripada atau sama dengan diameter 0.5μm setiap kaki padu udara ( Kurang daripada atau sama dengan 3520 setiap meter padu). Tahap kebersihan ini jauh melebihi bilik operasi perubatan, berfungsi sebagai "penghalang tegar" untuk menghalang habuk, elektrik statik dan bahan cemar kimia daripada mengganggu proses ketepatan. Ia ialah komponen perkakasan teras yang menentukan secara langsung kualiti imej skrin, jangka hayat dan kadar hasil.
Bengkel ini direka bentuk dan dibina dengan ketat mengikut piawaian antarabangsa dan domestik ISO. Ia menggunakan mod aliran udara satu arah menegak, digandingkan dengan sistem penapisan ULPA empat-peringkat (penapis pra-, penapis kecekapan sederhana-, penapis kecekapan-tinggi dan penapis kecekapan ultra-tinggi-), mencapai kecekapan penapisan sehingga 99% penapisan semula dan penjernihan semula 99% habuk. menghapuskan zon mati aliran udara. Pada masa yang sama, kawalan alam sekitar yang tepat dicapai merentas semua dimensi: suhu malar 23±1 darjah , kelembapan relatif dikawal pada 45%-55%, keadaan tekanan positif dikekalkan di kawasan bersih dan perbezaan tekanan Lebih besar daripada atau sama dengan 10Pa antara kawasan bersebelahan, menghalang sepenuhnya penyusupan habuk luaran; memandangkan kerentanan panel paparan kepada kerosakan elektrostatik, lantai peratakan anti-epoksi statik sendiri-digunakan dan plat keluli warna keluli tahan karat 304 dan bilik bersih digunakan untuk dinding dan siling, dengan kawalan ketat terhadap nilai elektrik statik sepanjang proses; kawalan tambahan disediakan untuk bahan pencemar kimia VOC peringkat molekul-dan gangguan terpendam seperti getaran mikro, memenuhi keperluan proses skala nano seperti fotolitografi, pemendapan filem nipis dan suntikan kristal cecair.
Bengkel ini menggunakan reka bentuk pengezonan bilik bersih berperingkat, dibahagikan kepada kawasan teras Kelas 100, kawasan penimbal Kelas 1000 dan kawasan tambahan Kelas 10,000, dengan lapisan menghalang-pencemaran silang dan barisan penghantar kakitangan dan bahan automatik diasingkan sepenuhnya. Kakitangan mesti menjalani tiga proses menukar pakaian, pancuran mandian udara dan pengesanan elektrostatik, dan hanya boleh masuk selepas memakai-sut bilik bersih badan penuh,-sarung tangan bebas habuk dan cermin mata; bahan dipindahkan melalui tingkap pindah yang saling berkunci dan menjalani rawatan penyingkiran habuk dan elektrik statik; bahagian dalam dilengkapi dengan tudung aliran laminar FFU, pembilang zarah dalam talian, penderia suhu dan kelembapan, pemantau tekanan pembezaan dan peralatan lain untuk mencapai pemantauan masa nyata 24-jam dan kebolehkesanan data, serta akan mengeluarkan amaran serta-merta dan membuat pelarasan sekiranya berlaku penunjuk tidak normal untuk memastikan kestabilan alam sekitar yang berterusan.
